重庆激光切割光束聚焦工件位置的原理
在精密切割中,对切口宽度有相当严格的要求,尤其是对于微0电子行业的精密切割。以硅片为例,在硅片上制作了大量的组件,不同组件之间的距离约为100um。那么,如果切口超过或达到100um,肯定会破坏组件,即使切口接近100微米,半导体组件的功能也会受到热扩散的影响。因此,如果切口与两侧组件之间的距离为30-40um,切口的宽度不应超过20~30um。为了获得狭窄的切口宽度,需要激烈的聚焦,不仅是为了。
一,光束聚焦
从激光输出的光束通常有毫米的限制。因此,在精密切割之前,必须先将其聚焦,将束腰压缩100倍左右,这样不仅可以降低切口宽度,还可以提高功率密度,更有利于切割。镜头焦距越小,聚焦效果越好。因此,短焦镜头通常用于聚焦。
第二,工件位置
为确保准确切割的切割精度,仅仅聚焦光束是不够的,还需要仔细确定待加工工件的位置。
显然,如果工件与聚焦后的光束束腰之间有一个不可忽视的距离,那么落在工件上的光斑可能会超过所需值,尽管束腰已经被压缩得足够小。
值得注意的是,由子聚焦后的光束束腰很小,发散角很大,因此,一旦偏离束腰位置,光斑的增长是不可忽视的。
激光切割原理三
由于加工材料的性质不同,切割原理通常分为两类。切割金属和一些介质材料时,先将材料蒸发或熔化,然后(一般通过吹气)将熔融物从光作用区排出,而切割脆性材料时,会产生热应力,使材料沿裂纹断裂。
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